測量精度
2.5+L/200重復精度
2.5um總放大倍率
18~195X物方視場
8.1~1.3mm工作距離
82mm光柵尺解析度
0.1um測量精度
2.5+L/200重復精度
2.5um總放大倍率
18~195X物方視場
8.1~1.3mm工作距離
82mm光柵尺解析度
0.1um測量精度
2.5+L/200重復精度
2.5um總放大倍率
18~195X物方視場
8.1~1.3mm工作距離
82mm光柵尺解析度
0.1um測量精度
2.5+L/200重復精度
2.5um總放大倍率
18~195X物方視場
8.1~1.3mm工作距離
82mm光柵尺解析度
0.1um測量精度
2.5+L/200重復精度
2.5um總放大倍率
18~195X物方視場
8.1~1.3mm工作距離
90mm光柵尺解析度
0.5um測量精度
2.5+L/200重復精度
2.5um總放大倍率
18~195X物方視場
8.1~1.3mm工作距離
90mm光柵尺解析度
0.5um測量精度
2.5+L/200重復精度
2.5um總放大倍率
18~195X物方視場
8.1~1.3mm工作距離
90mm光柵尺解析度
0.5um測量精度
2.5+L/200重復精度
2.5um總放大倍率
18~195X物方視場
8.1~1.3mm工作距離
90mm光柵尺解析度
0.5um測量精度
2.5+L/100重復精度
2.5um總放大倍率
18~195X物方視場
8.1~1.3mm工作距離
90mm光柵尺解析度
0.5um測量精度
2.5+L/100重復精度
2.5um總放大倍率
18~195X物方視場
8.1~1.3mm工作距離
90mm光柵尺解析度
0.5um測量精度
2.5+L/100重復精度
2.5um總放大倍率
18~195X物方視場
8.1~1.3mm工作距離
90mm光柵尺解析度
0.5um測量精度
2.5+L/100重復精度
2.5um總放大倍率
18~195X物方視場
8.1~1.3mm工作距離
90mm光柵尺解析度
0.5um測量精度
2.5+L/200重復精度
2.5um總放大倍率
25.2~158.4X物方視場
8.1~1.3mm工作距離
90mm光柵尺解析度
0.1um測量精度
重復精度
總放大倍率
物方視場
工作距離
光柵尺解析度
新聞資訊
News時間:12-22 2020 來自:本站
自動影像測量儀是近年來發(fā)展最為迅速的幾何量光學檢測儀器,它是一種基于光學投影原理,結合現(xiàn)代光電技術和計算機處理技術,完成對試件邊緣輪廓瞄準并實現(xiàn)長度和高度尺寸測量的三維光學坐標測量儀。該儀器可以高效地檢測各種形狀復雜工件的輪廓和表面形狀尺寸、角度及位置,特別是精密零部件的微觀檢測與質(zhì)量控制,適用于產(chǎn)品研制開發(fā)、品質(zhì)批量檢測等領域。
1、自動影像測量儀的結構組成及光學原理特點
自動影像測量儀一般由機械、光學、圖像采集、計算機處理和測量軟件等六部分組成。自動影像測量儀的光學原理與普通投影儀很類似,區(qū)別在于影像前者被測件的輪廓影像被CCD傳感器接收并由計算機進行圖像采集和處理,后者則直接把影像投射到投影觀測屏,輪廓對準有操作者的人眼完成,因而導致兩者測量精度和自動化程度相差很大,另外還有高度測量的功能。
自動影像測量儀一般具有較大的測量范圍,通常配備有變焦物鏡,照明光源除了常見的底光和頂光外,還有環(huán)形照明光,適合于底光和頂光都不能有效照明時應用。
2、自動影像測量儀的誤差來源
自動影像測量儀的測量可以是單軸、二維平面的測量,也可以是三維空間坐標的測量,測量時先對焦,取點,最后計算處理。讀數(shù)來自于標尺即光柵系統(tǒng),對焦對準依靠光學系統(tǒng),還有一個直接影響測量效果和精度的照明光源, 因為, 基于影像方法測量的儀器,如果被測件不能被有效正確的照明,則測量的結果顯然要偏離其真實尺寸。除前述因素外,環(huán)境條件也是制約測量精度不可忽視的因素?;谏鲜龇治?,可以歸納出以下幾個方面的誤差來源:
1)光柵計數(shù)尺的誤差;
3)工作臺兩測量軸垂直度帶來的誤差;
4)顯微鏡光軸與工作臺面不垂直帶來的誤差;
6)光源照明條件的變化帶來的對焦和對準誤差;
2)工作臺移動時存在的直線度、角擺帶來的誤差;
5)測量室溫度偏離校準要求的參考溫度帶來的誤差;
在這幾種因素中,前四項誤差,是硬件誤差,在儀器制造過程中已經(jīng)形成并固定下來,一般無法改變;溫度影響帶來的誤差,必須通過控制測量室的溫度和等溫過程來減小其影響。
最后一項則常被忽視,而在實際測量中,當光源照明條件改變時,直接影響被測工件的照明效果和影像質(zhì)量,主要是因為自動影像測量儀的圖像是通過CCD 接收,盡管CCD具有自動調(diào)節(jié)增益的功能,但當亮度過大時即失去調(diào)節(jié)功能,導致被測工件影像在縮小,當亮度過低時,工件影像反而變大。
這種影響,對于測量具有重復圖形結構之間的間距時,只要整個測量過程中照明條件保持不變,其影響可以忽略,因為每個重復圖形結構都同時在變大或變小,間距的測量計算直接消除了影像變形的影響,如測量玻璃尺、網(wǎng)格板刻線間距;除了這種特殊情形外,如測量圓的直徑、工件的長度和寬度,都將帶來明顯的誤差。
在以影像測量工件樣品結構的幾何尺寸時,光照明條件的改變將會直接影像被測尺寸,如線寬、圓直徑及其他幾何形位公差,因次要確保取到的邊界點是產(chǎn)品需要檢測的邊界,在高精度測量中,這是導致測量不確定度增大的關鍵因素,應引起足夠重視。