測量精度
2.5+L/200重復精度
2.5um總放大倍率
18~195X物方視場
8.1~1.3mm工作距離
82mm光柵尺解析度
0.1um測量精度
2.5+L/200重復精度
2.5um總放大倍率
18~195X物方視場
8.1~1.3mm工作距離
82mm光柵尺解析度
0.1um測量精度
2.5+L/200重復精度
2.5um總放大倍率
18~195X物方視場
8.1~1.3mm工作距離
82mm光柵尺解析度
0.1um測量精度
2.5+L/200重復精度
2.5um總放大倍率
18~195X物方視場
8.1~1.3mm工作距離
82mm光柵尺解析度
0.1um測量精度
2.5+L/200重復精度
2.5um總放大倍率
18~195X物方視場
8.1~1.3mm工作距離
90mm光柵尺解析度
0.5um測量精度
2.5+L/200重復精度
2.5um總放大倍率
18~195X物方視場
8.1~1.3mm工作距離
90mm光柵尺解析度
0.5um測量精度
2.5+L/200重復精度
2.5um總放大倍率
18~195X物方視場
8.1~1.3mm工作距離
90mm光柵尺解析度
0.5um測量精度
2.5+L/200重復精度
2.5um總放大倍率
18~195X物方視場
8.1~1.3mm工作距離
90mm光柵尺解析度
0.5um測量精度
2.5+L/100重復精度
2.5um總放大倍率
18~195X物方視場
8.1~1.3mm工作距離
90mm光柵尺解析度
0.5um測量精度
2.5+L/100重復精度
2.5um總放大倍率
18~195X物方視場
8.1~1.3mm工作距離
90mm光柵尺解析度
0.5um測量精度
2.5+L/100重復精度
2.5um總放大倍率
18~195X物方視場
8.1~1.3mm工作距離
90mm光柵尺解析度
0.5um測量精度
2.5+L/100重復精度
2.5um總放大倍率
18~195X物方視場
8.1~1.3mm工作距離
90mm光柵尺解析度
0.5um測量精度
2.5+L/200重復精度
2.5um總放大倍率
25.2~158.4X物方視場
8.1~1.3mm工作距離
90mm光柵尺解析度
0.1um測量精度
重復精度
總放大倍率
物方視場
工作距離
光柵尺解析度
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